1 Kong M G, Kroesen G, Morˉll G, et al. 2009, New J. Phys., 11: 115012 2 Niemi K, Reuter S, Graham L M, et al. 2010, J. Phys. D: Appl. Phys., 43: 124006 3 He J and Zhang Y T. 2012, Plasma Process. Polym., 9: 919 4 Yang A, Liu D, Rong M, et al. 2014, Phys. Plasmas, 21: 083501 5 Lu X and Laroussi M. 2006, J. Appl. Phys., 100: 063302 6 Laroussi M, Lu X, Kolobov V, et al. 2004, J. Appl. Phys., 96: 3028 7 Lu X and Laroussi M. 2008, Appl. Phys. Lett., 92: 051501 8 Walsh J L, Liu D X, Iza F, et al. 2010, J. Phys. D: Appl. Phys., 43: 032001 9 Lu X, Ye T, Cao Y, et al. 2008, J. Appl. Phys., 104: 053309 10 Nie L L, Tan Z Y, Chen B, et al. 2013, IEEE Trans. Plasma Sci., 41: 1648 11 Wang X L, Tan Z Y, Nie L L, et al. 2014, IEEE Trans. Plasma Sci., 42: 2245 12 Rauf S and Kushner M J. 1999, J. Appl. Phys., 85: 3460 13 Wang Q, Economou D J, Donnelly V M. 2006, J. Appl. Phys., 100: 023301 14 Deloche R, Monchicourt P, Cheret M, et al. 1976, Phys. Rev. A, 13: 1140 15 Golubovskii Y B, Maiorov V A, Behnke J, et al. 2003, J. Phys. D: Appl. Phys., 36: 39 16 Kim S, Lieberman M A, Lichtenberg A J, et al. 2006, J. Vac. Sci. Technol. A, 24: 2025 17 Leveille V and Coulombe S. 2005, Plasma Sources Sci. Technol., 14: 467 18 Gudmundsson J T, Kouznetsov I G, Patel K K, et al. 2001, J. Phys. D: Appl. Phys., 34: 1100 19 Stafford D S and Kushner M J. 2004, J. Appl. Phys., 96: 2451 20 Gordillo-Vazquez F J. 2008, J. Phys. D: Appl. Phys., 41: 234016 21 Hadi-Ziane S, Held B, Pignolet P, et al. 1992, J. Phys. D: Appl. Phys., 25: 677 22 Baulch D L, Cox R A, Crutzen P J, et al. 1982, J. Phys. Chem. Ref. Data, 11: 327 23 Soria C, Pontiga F, Castellanos A. 2004, Plasma Sources Sci. Technol., 13: 95 24 Kulikovsky A A. 1994, J. Phys. D: Appl. Phys., 27: 2556 25 Scharfetter D L and Gummel H K. 1969, IEEE Trans. Electron Dev., 16: 64 26 Shi H, Zhang Y H, Wang D Z. 2008, Phys. Plasmas, 15: 122306 27 Nikandrov D S, Tsendin L D, Kolobov V I, et al. 2008, IEEE Trans. Plasma Sci., 36: 131 28 Oda A, Sakai Y, Akashi H, et al. 1999, J. Phys. D: Appl. Phys., 32 : 2726 29 Nikandrov D S, Arslanbekov R R, Kolobov V I. 2008, IEEE Trans. Plasma Sci., 36 : 932 30 Liu S and Neiger M. 2001, J. Phys. D: Appl. Phys., 34: 1632 31 Laroussi M, Lu X, Kolobov V, et al. 2004, J. Appl. Phys., 96: 3028 32 Lu X and Laroussi M. 2006, J. Phys. D: Appl. Phys., 39: 1127 33 Deng X T, Shi J J and Kong M G. 2007, J. Appl. Phys., 101: 074701 34 Yu H, Perni S, Shi J J, et al. 2006, J. Appl. Microbiology, 101: 1323 35 Lichtenberg A J, Kouznetsov I G, Lee Y T, et al. 1997, Plasma Sources Sci. Technol., 6: 437
|